本文標題:光學(xué)光源設(shè)計，對準儀的燈常在工作時用電扇冷卻
信息分類:技術(shù)資訊 新聞來源：未知 發(fā)布時間：2017-9-30 1:10:43
光學(xué)光源設(shè)計，對準儀的燈常在工作時用電扇冷卻
光學(xué)光刻
然而，實際系統(tǒng)比這些簡單的敘述復(fù)雜得多。光源不是一個點，而
是一有限體積。它也會發(fā)射許多波長。光通過透鏡／反射鏡組合被收集
。每一光學(xué)元件會有某些缺陷，如局部畸變和色差。掩模本身也會反射
、吸收和相移入射的輻照。
在圓片表面的反射進一步使事情復(fù)雜化。結(jié)果，圓片表面產(chǎn)生的圖
形(實像)只可能是數(shù)值近似。盡管這樣，還需要很復(fù)雜的軟件。可以買
到幾種進行這樣計算的商用程序。以下幾節(jié)將提出一些簡單的近似，可
用于替代實像光強更精確的計算而確定分辨率。
燈的第二個光源是汞原子本身，與高能電子的碰撞，推動汞原子的
電子進入能帶的高能態(tài)。當它們回到低能態(tài)時，它們發(fā)射出光的波長相
應(yīng)于其能量躍遷。這些光發(fā)射線譜非常尖銳，所以可用于確定等離子體
中的主要產(chǎn)生物。典型的汞燈線光譜。這些線按它們的能
量命名。對準機常常過濾掉除了一條單線外的全部線。
在工作時，高能汞離子轟擊負電極。此時，它們通過稱為濺射(spu
ttering)的物理過程，打出少量的電極材料。一些濺射出的電極材料涂
敷在石英玻璃殼的內(nèi)壁。而且，燈內(nèi)壁表面的高溫會使石英玻璃慢慢失
透，留下白霧狀形貌。濺射與失透結(jié)合一起減弱了輸出強度。附加的吸
收能量使燈外殼更熱。最后，燈常常由于爆裂而失效，這會嚴重損壞對
準光學(xué)系統(tǒng)。因此，對準機的燈通常在工作時用電扇冷卻，而且在使用
一定小時數(shù)后更換。
簡單的光學(xué)光源設(shè)計，當然不很實用。只有很小部分燈的輻照能到
達圓片上。除非圓片是球形的(不是通常所希望有的條件)，否則表面的
功率密度會是不均勻的。因此，光源光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計有四個主要目標。第
一個是收集盡可能多的光輻照。沒有這樣的收集，曝光時間會不可實用
的長。第二個目標是要使整個曝光場輻照強度均勻，以避免圓片某些部
分過度曝光，而另外的區(qū)域則曝光不足。第三個目標是使輻照準直和成
形達到所需要的程度。通常，并不希望完全平行準直，常常應(yīng)用小角度
的發(fā)散光來代替。
將本頁加入收藏
下一篇：印刷凝膠、溶膠剪切-油墨印刷檢測顯微鏡
上一篇：表面微機械制造基礎(chǔ)-體微機械加工技術(shù)
本文出自上海永亨光學(xué)儀器有限公司，本文地址：http://www.87154148.cn/js/2485.html
工業(yè)顯微鏡測量顯微鏡視頻顯微鏡專業(yè)的供應(yīng)商
合作伙伴：http://www.xianweijing.org/顯微鏡百科
- 沒有資料
